Другое по теме:
Проектирование и технология радиоэлектронных средств
МикроЭлектроМеханические Системы или
сокращенно МЭМС - это множество микроустройств самых разнообразных конструкций
и назначения, производимых сходными методами с использованием модифицированных
групповых технологических приемов микроэлектроники ...